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硅抛光片的化学清洗方法

关键词 硅抛光片|2014-03-19 10:30:17|基础知识|来源 中国清洁门户
摘要 特性:耐高温.环保.耐压缩.高韧性.抗老化和耐酸碱性等.用于电器内部高温部件,可做压合.减震.隔热.长期使用不易产生龟裂.也能模切成任何形状的片材.可背胶(单面双面).主要用途:
       特性:耐高温.环保.耐压缩.高韧性.抗老化和耐酸碱性等.用于电器内部高温部件,可做压合.减震.隔热.长期使用不易产生龟裂.也能模切成任何形状的片材.可背胶(单面双面).

        主要用途:

       1.电气绝缘:硅胶布具有较高的电绝缘等级,可承受高电压负荷,可制成绝缘布、套管等产品。

       2.非金属补偿器:硅胶布可作管道的柔性连接器件,它可以解决热胀冷缩对管道的破坏,硅胶布具有较高的耐温性,防腐性,抗老化性能,弹性及柔性良好,可广泛应用于石油,化工,水泥,能源等领域。

       3.防腐方面:硅橡胶涂覆玻璃纤维布,可作为管道,储蓄的内外防腐层,防腐性能优良,强度高,是一种理想的防腐材料。

       4.其它领域:硅橡胶涂覆玻璃纤维膜结构材料可应用于建筑密封材料,高温防腐输送带,包装材料等领域。

       硅片的表面受到比较严重的污染,这时候可以考虑使用如下几种化学清洗方法进行清洁:a.使用强氧化剂使“电镀”附着到硅表面的金属离子、氧化成金属,溶解在清洗液中或吸附在硅片表面。

       b.用无害的小直径强正离子(如H+)来替代吸附在硅片表面的金属离子,使之溶解于清洗液中。

       c.用大量去离水进行超声波清洗,以排除溶液中的金属离子。自1970年美国RCA实验室提出的浸泡式RCA化学清洗工艺得到了广泛应用,1978年RCA实验室又推出兆声清洗工艺,近几年来以RCA清洗理论为基础的各种清洗技术不断被开发出来,例如:

       ⑴美国FSI公司推出离心喷淋式化学清洗技术。

       ⑵美国原CFM公司推出的Full-Flowsystems封闭式溢流型清洁技术。

       ⑶美国VERTEQ公司推出的介于浸泡与封闭式之间的化学清洗技术(例GoldfingerMach2清洗系统)。

       ⑷美国SSEC公司的双面檫洗技术(例M3304DSS清洗系统)。

       ⑸日本提出无药液的电介离子水清洗技术(用电介超纯离子水清洗)使抛光片表面洁净技术达到了新的水平。

       ⑹以HF/O3为基础的硅片化学清洁技术。

       目前常用H2O2作强氧化剂,选用HCL作为H+的来源用于清除金属离子。SC-1是H2O2和NH4OH的碱性溶液,通过H2O2的强氧化和NH4OH的溶解作用,使有机物沾污变成水溶性化合物,随去离子水的冲洗而被排除。由于溶液具有强氧化性和络合性,能氧化Cr、Cu、Zn、Ag、Ni、Co、Ca、Fe、Mg等使其变成高价离子,然后进一步与碱作用,生成可溶性络合物而随去离子水的冲洗而被去除。目前市场上都有售卖此类清洁剂。

       为此用SC-1液清洗抛光片既能去除有机沾污,亦能去除某些金属沾污。SC-2是H2O2和HCL的酸性溶液,它具有极强的氧化性和络合性,能与氧以前的金属作用生成盐随去离子水冲洗而被去除。被氧化的金属离子与CL-作用生成的可溶性络合物亦随去离子水冲洗而被去除。在使用SC-1液时结合使用兆声波来清洗可获得更好的效果。 
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